
Услуги тестирования высокочистых жидких химических веществ для полупроводников представляют собой услуги по проверке и анализу высокочистых химических веществ, используемых в производстве полупроводников. Эти химические вещества обычно используются в таких этапах полупроводникового процесса, к...
Услуги тестирования высокочистых жидких химических веществ для полупроводников представляют собой услуги по проверке и анализу высокочистых химических веществ, используемых в производстве полупроводников. Эти химические вещества обычно используются в таких этапах полупроводникового процесса, как травление, очистка, осаждение и другие. Услуги тестирования высокочистых жидких химических веществ для полупроводников с помощью различных аналитических методов, таких как масс-спектрометрия, инфракрасная спектроскопия, ядерный магнитный резонанс и другие, могут проводить тестирование примесей, содержания, чистоты и других параметров в химических веществах, чтобы гарантировать качество и пригодность химических веществ.
Высокочистые жидкие реагенты, их классы в соответствии с чистотой подразделяются на три класса: UP-S, UP, EL, причем EL дополнительно подразделяется:
Электронный класс 1 (EL-Ⅰ) с содержанием металлических примесей 100-1000 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C1 C2;
Электронный класс 2 (EL-Ⅱ) с содержанием металлических примесей 10-100 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C7;
Электронный класс 3 (EL-Ⅲ) с содержанием металлических примесей 1-10 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C7;
Электронный класс 4 (EL-Ⅳ) с содержанием металлических примесей 0,1-1 частей на миллиард, что соответствует стандарту SEMI C8;
| Стандарт SEMI | C1(Класс1) | C7(Класс2) | C8(Класс3) | C12(Класс4) |
| Металлические примеси/ppb | ≤1 млн⁻¹ | ≤10 | ≤1 | ≤0.1 |
| Контрольный размер частиц/мкм | ≤1.0 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 |
| Частицы/шт/мл | ≤25 | ≤25 | ≤5 | * |
| Диапазон применимости для ширины линии ИС/мкм | >1.2 | 0.8~1.2 | 0.2~0.6 | 0.09~0.2 |
Услуги тестирования в области полупроводников относятся к услугам по проверке и анализу полупроводниковых продуктов и процессов, включая тестирование высокочистых жидкостей для полупроводников, высокочистых жидких химических веществ для полупроводников, чистоты компонентов полупроводников, сверхчистых газов, сверхчистой воды, специализированные услуги тестирования химической чистоты, тестирование металлов на поверхности кремниевых пластин, анализ органических веществ на поверхности кремниевых пластин, оценку загрязнений контейнеров для кремниевых пластин, анализ наночастиц в органических химических веществах и другие услуги тестирования. Эти услуги обычно предоставляются специализированными лабораториями или испытательными учреждениями. Услуги тестирования в области полупроводников могут включать анализ материалов, испытания физических характеристик, испытания электрических характеристик, испытания на надежность и другие. Путем всестороннего тестирования полупроводниковых продуктов и процессов можно гарантировать соответствие их качества, производительности и надежности требованиям, а также предоставить поддержку данными и предложения по улучшению. Эти услуги тестирования чрезвычайно важны для контроля процесса производства полупроводников и обеспечения качества продукции.