
Специальные газы для производства полупроводников относятся к высокочистым газам, используемым в процессе производства полупроводников. Эти газы играют важную роль в таких процессах, как рост полупроводниковых материалов, очистка, травление и другие. Распространенные специальные газы включают т...
Специальные газы для производства полупроводников относятся к высокочистым газам, используемым в процессе производства полупроводников. Эти газы играют важную роль в таких процессах, как рост полупроводниковых материалов, очистка, травление и другие. Распространенные специальные газы включают тетрахлорид кремния, трихлорид бора, этилен и другие специальные газы для полупроводников. Эти газы должны обладать такими характеристиками, как высокая чистота, низкое содержание примесей и стабильность, чтобы обеспечить точный контроль и стабильность процесса производства полупроводников.