
Термоизмерительная пластина, Сенсор на пластине, также называется TC-пластина Характеристики продукта: 1: Используется для беспроводного измерения температуры и температурных изменений E-chuck в 12-дюймовом полупроводниковом оборудовании. 2: Посредством калибровки разница между показаниями 73 ...
Термоизмерительная пластина, Сенсор на пластине, также называется TC-пластина
1: Используется для беспроводного измерения температуры и температурных изменений E-chuck в 12-дюймовом полупроводниковом оборудовании.
2: Посредством калибровки разница между показаниями 73 сенсоров (максимальное значение - минимальное значение) контролируется в пределах ≤ 0.25°C.
3: Используемые температурные сенсоры имеют спецификацию: продукция с погрешностью в пределах ±0.2°C.
4: Измеренные значения температурных изменений различаются и записываются с шагом 0.01°C.
5: Различные модели могут выбирать диапазон измеряемых температур 20~140°C или -40~140°C.
6: Различные модели могут выбирать необходимость устойчивости к плазме (максимально не более 7 кВт).
7: В зависимости от потребностей клиента могут предоставляться проводные термоизмерительные пластины размером 6 и 8 дюймов для производственных линий.
Область полупроводников и чипов, главным образом для повышения выхода годной продукции собственной продукции FAB (производителей чипов по контракту).
Производители технологического оборудования используют данный продукт для повышения стабильности оборудования и производительности продукции.