
Услуги анализа органических загрязнений на поверхности кремниевых пластин представляют собой услуги по анализу и обнаружению органических веществ на поверхности кремниевых пластин, используемых в процессе производства полупроводников, для обеспечения чистоты поверхности и отсутствия загрязнени...
Услуги анализа органических загрязнений на поверхности кремниевых пластин представляют собой услуги по анализу и обнаружению органических веществ на поверхности кремниевых пластин, используемых в процессе производства полупроводников, для обеспечения чистоты поверхности и отсутствия загрязнений. Это включает обнаружение и анализ органических компонентов, содержания, распределения и других параметров на поверхности кремниевых пластин. В процессе обработки кремниевых пластин могут возникать различные загрязнения металлическими примесями, что приводит к отказу устройств.
◆ Легкие металлы (Na, Mg, Al, K, Ca и другие) приводят к снижению напряжения пробоя устройств.
◆ Тяжелые металлы (Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn и другие) приводят к сокращению срока службы устройств.
Следовательно, содержание металлов на поверхности кремниевых пластин как исходного материала для устройств непосредственно влияет на выход годных изделий.
Летучие органические вещества, выделяемые полимерами, используемыми в технологическом процессе, также могут снижать выход годной продукции. Конкретные проблемы загрязнения могут вызывать различные дефекты в полупроводниковых устройствах.
Источники металлических загрязнений, которые могут возникать в технологическом процессе:
Химические растворы: химические растворы, широко используемые в производстве чипов, содержат металлические элементы. Превышение содержания металлических элементов в химических растворах непосредственно приводит к массовому браку производимых чипов из-за металлического загрязнения.
Различные этапы технологического процесса производства чипов: процессы Diffusion, Wet, Etch, Thin Film, CMP и другие процессы или процессы технического обслуживания могут вызывать металлические загрязнения.
Металлические загрязнения, возникающие в результате реакции химических веществ с трубопроводами передачи и контейнерами.
Услуги тестирования в области полупроводников относятся к услугам по проверке и анализу полупроводниковых продуктов и процессов, включая тестирование высокочистых жидкостей для полупроводников, высокочистых жидких химических веществ для полупроводников, чистоты компонентов полупроводников, сверхчистых газов, сверхчистой воды, специализированные услуги тестирования химической чистоты, тестирование металлов на поверхности кремниевых пластин, анализ органических веществ на поверхности кремниевых пластин, оценку загрязнений контейнеров для кремниевых пластин, анализ наночастиц в органических химических веществах и другие услуги тестирования. Эти услуги обычно предоставляются специализированными лабораториями или испытательными учреждениями. Услуги тестирования в области полупроводников могут включать анализ материалов, испытания физических характеристик, испытания электрических характеристик, испытания на надежность и другие. Путем всестороннего тестирования полупроводниковых продуктов и процессов можно гарантировать соответствие их качества, производительности и надежности требованиям, а также предоставить поддержку данными и предложения по улучшению. Эти услуги тестирования чрезвычайно важны для контроля процесса производства полупроводников и обеспечения качества продукции.